میکرو مهندسی به تکنیکها، تکنواوژیها و روشهایی گفته میشود که سازه ها و ابزار با ابعاد میکرومتر را شامل شوند. ( MEMS(Microelectromechanical systems معمولا به ابزار مکانیکی اتلاق می شود که ابعاد در حد میکرومتر دارند و معمولا با روشهای تولید IC ها ساخته میشوند. در اروپا به جای MEMS بیشتر از عبارت MST و در ژاپن از اصطلاح میکرو ماشینها برای این مفهوم استفاده میشود. در اوایل دهه 90 میلادی میکرو مهندسی به عنوان یک انقلاب در تکنولوژی مطرح شد. این تکنولوژی به ویژه در ساخت چیپهای الکترونیکی تحولی عظیم ایجاد نمود. MEMS به طور اختصار این مزایا را به همراه دارند: - مناسب برای تولید انبوه با قیمت کم - کاهش اندازه،جرم و انرژی مصرفی - تابع پذیری بالا - افرایش ضریب اطمینان - ایجاد راه حلهای بدیع و کاربردهای جدید میکرو مهندسی تحول عظیمی در اقتصاد ایجاد کرده است ؛ ایجاد یک بازار جهانی چندین میلیارد دلاری با نرخ رشد سالیانه 20% بسیار قابل توجه است زمینه های بارز کاری این تکنولوژی IT، optical ,RF components,microfluidics میباشد. با توجه به ارزش افزوده فوق العاده این تکنولوژی و همچنین کاربرد وسیع آن در صنعت الکترونیک و اپتیک و کاربردهای نظامی و فضایی آن ، شاید در سالهای آینده یکی از مهمترین مباحث پژوهشی دنیا خواهد بود که امیدوارم محققان کشور عزیزمان از این مهم غافل نشوند. مواد مورد استفاده برای تولید MEMS و روشهای تولید آنها بسیار متنوع می باشند می توان گفت که همه گروههای مواد در تولید MEMS به کار می روند از فلزات و پلیمرها و سرامیکها تا مواد مرکب اما می توان گفت پرکاربرد ترین ماده سیلیکون می باشد . پایگاه مهندسی و علم مواد www.imse.ir .
